應用領域
本設備主要用于超精密電子元件的平面尺寸、高度、深度、形位公差尺寸測量，采用3D線掃激光傳感器對平面度進行掃描測量，可對復雜表面重建基準面求差，搭配CCD視覺定位，采用高分辯率相機+環形表面光+同軸光；

優勢

*   可搭載多品牌激光3D線掃傳感器，可選配激光共焦傳感器，對特殊表面進行高度采集；
*   激光3D掃描采集參數根據特定產品最優化參數，自研濾噪算法，經過行業多種產品驗證；
*   行業首創，XY二維插補掃描，補正放料角度與掃描軸不平行引起的誤差；
*   平面區域分段補償功能，減小軸直線度誤差影響；
*   高精度運動部件＋全局標定補償，XYZ重復精度0.005mm

主要參數

1、檢測功能：測量深度、元件臺階、平面度、位置度等

2、檢測效率：根據產品表面確定（3維）

3、分辯率：2 um

4、工作臺尺寸： 500 x 400 mm  可支持雙平面定制

東莞市小可智能設備科技有限公司生產研發3D測量,3D測量設備,精密尺寸3D測量,3D測量設備參數等歡迎來電考察。

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